Неразрушающий контроль характеристик пористого карбида кремния
Шуман В.Б.1, Савкина Н.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: nata.sav.@pop.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 14 июня 2002 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2002 г.
Показана возможность неразрушающего контроля пористости и толщины пористого слоя карбида кремния в случае, если известна убыль веса образца при электролитическом травлении, а в спектре отражения наблюдается интерференция.
- Mazzoleni C., Pavesi L. // Appl. Phys. Lett. 1995. V. 67. (20). P. 2983--2985
- Zangooie S., Persson P.O.A., Hilfiken J.N., Hulfman L., Arwin H. // J. Appl. Phys. 2000. V. 87. (12). P. 8497--8503
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.