Учет немаксвелловости распределения электронов в пространственно-усредненной (global) модели
Кудрявцев А.А., Цендин Л.Д.
Email: tsendin@phtf.stu.neva.ru
Поступила в редакцию: 24 мая 2002 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2002 г.
При использовании пространственно-усредненной (global) модели, немаксвелловость электронов учитывается с помощью двухтемпературной аппроксимации. При этом условие стационарности разряда позволяет определить температуру быстрых электронов Teh как собственное число задачи. Эта температура для данного сорта газа является функцией параметра pLambda и слабо (логарифмически) зависит от изменения условий, так что при pLambda=const она практически одинакова для различных типов газовых разрядов. Баланс энергий электронного газа позволяет определить концентрацию ne по удельной мощности W, вводимой в разряд.
- Lieberman M., Lichtenberg A. // Principles of Plasma Discharges and Materials Processing. New York: Wiley, 1994
- Rozhansky A.V., Tsendin L.D. // Transport Phenomena in Partially Ionized Plasma. London and New York.: Taylor\&Francis, 2001
- Lee C., Lieberman M.A. // J. Vac. Sci. Technol. 1995. V. A. 13. N 2. P. 368
- Lichtenberg A.J., Vahedi V., Lieberman M.A. et al. // J. Appl. Phys. 1994. V. 75. P. 2339
- Fransis G. Ionization Phenomena in Gases. London: Butt. Sci. Publ., 1960
- Ginsburg V.L., Gurevich A.V. // Usp. Fiz. Nauk. 1960. V. 70. P. 201--246
- Kudryavtsev A.A., Tsendin L.D. // Tech. Phys. 1999. V. 44. N 11. P. 1290--1297
- Tsendin L.D. // Plasma Sourses Sci. Technol. 1995. V. 4. P. 200--211
- Gudmundsson. // Plasma Sourses Sci. Technol. 2001. V. 10. P. 75--81
- Kiehlbauch M.W., Graves D.B. // J. Appl. Phys. 2002. V. 91. N 6. P. 3539--3546
- Morgan W.L., Vriens L. // J. Appl. Phys. 1980. V. 51. N 10. P. 5300--5306
- Hartgers A., van der Mullen J.A.M. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2001. V. 34. P. 1907--1913
- Kimura T., Ohe K. // J. Appl. Phys. 2001. V. 89. N 8. P. 4240--4246
- Biberman L.M., Vorob'ev V.S., Yakubov I.T. // Sov. Phys. USPEKHI. 1973. V. 15. N 4. P. 375--394
- Mumken G. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1999. V. 32. P. 804--814
- Sigh H., Graves D.B. // J. Appl. Phys. 2000. V. 87. P. 4098--4106
- Godyak V.A., Piejak R.V., Alexandrovich B.M. // J. Appl. Phys. 1999. V. 85. P. 3081--3083
- Kortshagen U., Pukropski I., Zethoff M. // J. Appl. Phys. 1994. V. 76. P. 2048--2057
- Godyak V.A. // Electron kinetics Applications of Glow Discharges. U. Kortshagen and L.D. Tsendin eds. Plenum. 1997. P. 241--256
- Berezhnoj S.V., Kaganovich I.D., Tsendin L.D. // Plasma Phys. Reports. 1998. V. 24 (7). P. 603--610
- Smirnov A.S., Orlov K.E. // Plasma Sourses Sci. Technol. 1999. V. 8. P. 37--48
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук