Изменение молекулярной структуры резиста на основе метилметакрилата и метакриловой кислоты при модификации ультразвуком
Тригуб В.И.1, Плотнов А.В.1
1Нижегородский государственный технический университет
Поступила в редакцию: 20 ноября 2001 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2002 г.
Приведены результаты экспериментальных исследований резиста на основе сополимера метилметакрилата с метакриловой кислотой, модифицированного ультразвуком мощностью 300 W/m2 с частотой 21 kHz. На основе результатов УФ- и ИК-спектроскопии показано, что ультразвуковая модификация резиста способствует образованию двойных связей C = O и повышению чувствительности в области 260/ 360 nm.
- Таруи Я. Основы технологии СБИС. М.: Радио и связь, 1985. 480 с
- Вайнер А.Я., Якименко А.Н., Лиманов В.Ф. и др. // Микроэлектроника. 1984. Т. 13. N 4. С. 311--314
- Моро У. Микролитография. Ч. 1. М.: Мир, 1990. 605 с
- Тарутина Л.И., Позднякова Ф.О. Спектральный анализ полимеров. Л.: Химия, 1986. 248 с
- Комаров Ф.Ф., Леонтьев А.В., Новиков А.П. // Микроэлектроника. 1989. Т. 18. N 3. С. 212--214
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук