Катодная локализация металлических покрытий на кристаллах карбида кремния
Карачинов В.А.1
1Новгородский государственный университет им. Ярослава Мудрого, Великий Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 14 января 2002 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2002 г.
Описано экспериментальное исследование электрофизических свойств медных контактов, полученных осаждением меди из пористого электрода на поверхность карбида кремния.
- Водаков Ю.А., Константинов А.О., Литвин Д.П., Санкин В.И. // Письма в ЖТФ. 1981. Т. 7. В. 12. С. 705--708
- Suzuki Akira, Mameno Kazunobu, Furui Nobuyuki, Matsuma mi Hiroyuki // Appl. Phys. Lett. 1981. V. 39. N 1. P. 89--90
- Crofton J., Barnes P.A., Williams J.P. // Appl. Phys. Lett. 1993. V. 62. N 4. P. 25--27
- Андреев А.Н., Лебедев А.И., Растегаева М.Г., Снегов Ф.М., Сыркин А.Л., Челноков В.Е., Шестопалова Л.Н. // ФТП. 1995. Т. 29. В. 10. С. 1833--1843
- Афанасьев А.В., Ильин В.А., Петров А.А. // Сб. докл. III Международного семинара "Карбид кремния и родственные материалы". Великий Новгород: НовГУ им. Ярослава Мудрого, 24--26 мая, 2000. С. 202--205
- Милешко Л.П., Сорокин И.Н., Чистяков Ю.Д. Активируемые процессы технологии микроэлектроники. М.: Наука, 1980. С. 29--40
- Савкина Н.С., Ратников В.В., Шуман В.Б., Волкова А.А. // Сб. докл. III Международного семинара Карбид кремния и родственные материалы". Великий Новгород: НовГУ им. Ярослава Мудрого, 24--26 мая, 2000. С. 159--165
- Ямпольский А.Н., Ильин Л.А. Краткий справочник гальванотехника. Л.: Машиностроение. Ленингр. отд-ние, 1981. 269 с
- Баженов О.Г., Карачинов В.А. // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. В. 21. С. 26-29
- Кочергин С.Н., Леонтьев А.В. Образование текстур при электрокристаллизации металлов. М.: Металлургия, 1974. 184 с
- Груев И.Д., Матвеев Н.И., Сергева Н.Г. Электрохимические покрытия изделий радиоэлектронной аппаратуры. М.: Радио и связь, 1988. 304 с
- Амиров И.К., Жохов А.В. // ЖТФ. 1995. Т. 65. В. 10. С. 187--190
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.