Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2002, выпуск 9 » Статья стр. 58
<<<>>>
Влияние водородного травления на электрофизические свойства автоэпитаксиальных слоев карбида кремния
Зеленин В.В.1, Давыдов Д.В.1, Корогодский М.Л.1, Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 26 декабря 2001 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2002 г.
PDF версия
Приведены результаты, указывающие на корреляцию между предростовой обработкой подложки SiC в водороде и концентрацией доноров (акцепторов) выращенных автоэпитаксиальных слоев. Показано, что вышеупомянутые концентрации в слоях могут отличаться на порядок для предварительно травленых и не травленых подложек. Обсуждается физическое обоснование корреляционной связи. Отмечается важность влияния конкурирующего травления на процесс эпитаксиального роста.
  1. Zelenin V.V., Lebedev A.A., Starobinets S., Chelnakov V.E. // Mat. Sci. Eng. 1997. B46. P. 300--303
  2. Абаев М.И., Вольфсон А.А., Карклина М.И., Остроумов А.Г., Семенов В.В. // Неорганические материалы. 1979. Т. 15. В. 12. С. 2232
  3. Аргунова Т.С., Зеленин В.В., Костина Л.С., Лебедев А.А., Корогодский М.Л., Sauvage M., Coati A. // Teз. 4-й Российской конф. по физике полупроводников. Новосибирск, 25--29 октября 1999
  4. Chu T.L., Campbell R.B. // J. Elecrochem. Soc. 1965. V. 112. N 9. P. 955
  5. Pamachandra V., Brady M.F., Smith A.R., Fcenstra R.M., Grew D.W. // J. Electron. Mat. 1998. V. 27. N 24. P. 308
  6. Chun-inchi Nakamura, Kimoto T., Matsunami H., Tanaka S., Teraguchi N., Suzuki A. // Appl. Phys. Lett. 2000. V. 76. N 23. P. 3412
  7. Saidov M.S., Shamuratov Kh., Kadyrov M.A. // Crystall Growth. 1988. V. 87. P. 519
  8. Зеленин В.В., Корогодский М.Л., Лебедев А.А. // ФТП. 2001. Т. 35. В. 10. C. 1169
  9. Зеленин В.В., Корогодский М.Л., Лебедев А.А. // ФТП. 2001. Т. 35. В. 10. С. 1172
  10. Zelenin V.V., Lebedev A.A., Rastegaeva M.G., Davydov D.V., Chelnakov V.E., Korogodskii M.L. // Mat. Sci. Eng. 1999. B61--62. P. 183

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme