Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние водородного травления на электрофизические свойства автоэпитаксиальных слоев карбида кремния
Зеленин В.В.1, Давыдов Д.В.1, Корогодский М.Л.1, Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Поступила в редакцию: 26 декабря 2001 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2002 г.
Приведены результаты, указывающие на корреляцию между предростовой обработкой подложки SiC в водороде и концентрацией доноров (акцепторов) выращенных автоэпитаксиальных слоев. Показано, что вышеупомянутые концентрации в слоях могут отличаться на порядок для предварительно травленых и не травленых подложек. Обсуждается физическое обоснование корреляционной связи. Отмечается важность влияния конкурирующего травления на процесс эпитаксиального роста.
- Zelenin V.V., Lebedev A.A., Starobinets S., Chelnakov V.E. // Mat. Sci. Eng. 1997. B46. P. 300--303
- Абаев М.И., Вольфсон А.А., Карклина М.И., Остроумов А.Г., Семенов В.В. // Неорганические материалы. 1979. Т. 15. В. 12. С. 2232
- Аргунова Т.С., Зеленин В.В., Костина Л.С., Лебедев А.А., Корогодский М.Л., Sauvage M., Coati A. // Teз. 4-й Российской конф. по физике полупроводников. Новосибирск, 25--29 октября 1999
- Chu T.L., Campbell R.B. // J. Elecrochem. Soc. 1965. V. 112. N 9. P. 955
- Pamachandra V., Brady M.F., Smith A.R., Fcenstra R.M., Grew D.W. // J. Electron. Mat. 1998. V. 27. N 24. P. 308
- Chun-inchi Nakamura, Kimoto T., Matsunami H., Tanaka S., Teraguchi N., Suzuki A. // Appl. Phys. Lett. 2000. V. 76. N 23. P. 3412
- Saidov M.S., Shamuratov Kh., Kadyrov M.A. // Crystall Growth. 1988. V. 87. P. 519
- Зеленин В.В., Корогодский М.Л., Лебедев А.А. // ФТП. 2001. Т. 35. В. 10. C. 1169
- Зеленин В.В., Корогодский М.Л., Лебедев А.А. // ФТП. 2001. Т. 35. В. 10. С. 1172
- Zelenin V.V., Lebedev A.A., Rastegaeva M.G., Davydov D.V., Chelnakov V.E., Korogodskii M.L. // Mat. Sci. Eng. 1999. B61--62. P. 183
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
