Приповерхностный тонкий слой в полимерной пленке
Тригуб В.И.1, Плотнов А.В.1, Киселев А.Н.1
1Нижегородский государственный технический университет
Поступила в редакцию: 13 марта 2001 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2001 г.
Приведены результаты экспериментальных исследований тонкого приповерхностного слоя пленки резиста на основе полиметилметакрилата методами атомно-силовой микроскопии. На основе полученной микрофотографии оценена толщина приповерхностного слоя и показано, что его плотность выше плотности основной массы пленки.
- Компанеец А.С. Теоретическая физика. М.: ГИТТЛ, 1957. 563 с
- Гугенгейм Е.А. Современная термодинамика. Л.: Госхимиздат, 1941. 183 с
- Тригуб В.И., Болдыревский П.Б. // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. В. 23. С. 91--94
- Тригуб В.И., Гольденберг Г.Л. // Известия вузов. Материалы электронной техники. 1988. N 4. С. 41--43
- Лаврищев В.П., Прохоров Ю.И., Хорина З.И. // Электронная техника. Сер. 3. Микроэлектроника. 1975. В. 1. С. 86--92
- Тригуб В.И., Плотнов А.В., Быкова И.Н. и др. // Журнал прикладной химии. 2000. Т. 73. В. 8. С. 1353--1356
- Тригуб В.И., Плотнов А.В., Потатина Н.А. // Труды седьмой Международной научно-технической конференции "Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники" ПЭМ-2000. Таганрог, 2000. Ч. 1. С. 71--73
- Булгакова С.А., Семчиков Ю.Д., Семенов В.В. и др. // Высокомолекулярные соединения. Сер. Б. 1995. Т. 37. N 4. С. 706--708
- Введение в интегральную оптику / Под ред. М. Барноски. М.: Мир, 1977. 430 с
- Moiseev Yu.N., Mostepanenko V.M., Panov V.I. et al. // Phys. Lett. 1988. A132. P. 354
- Курносов А.И. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. М.: Высш. шк., 1980. 327 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук