Особенности поведения конденсаторных структур на основе пленок цирконата-титаната свинца с избытком оксида свинца
Афанасьев В.П.1,2, Мосина Г.Н.1,2, Петров А.А.1,2, Пронин И.П.1,2, Сорокин Л.М.1,2, Тараканов Е.А.1,2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: pronin@inprof.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 1 февраля 2001 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2001 г.
В тонкослойных конденсаторных структурах на основе тонких пленок цирконата-титаната свинца (ЦТС) изучено влияние избыточного свинца на микроструктуру и сегнетоэлектрические свойства пленок. Показано, что избыток свинца в виде оксида свинца локализуется на межзеренных границах и интерфейсах пленки с нижним и верхним платиновыми электродами и может приводить к появлению внутреннего электрического поля и самополяризации пленок ЦТС. Предполагается, что возникновение самополяризации связано с образованием объемного заряда разной плотности на нижнем и верхнем интерфейсах сегнетоэлектрической пленки.
- Polla D.L. // Microelectronic Engineering. 1995. V. 29. P. 51--58
- Wang Zh-J., Maeda R., Kikuchi K. // Jpn. J. Appl. Phys. 1999. 38. N 9B. P. 5242--5345
- Klee M., De Veirman A., Taylor D.J. et al. // Integr. Ferroelectrics. 1994. V. 4. P. 197--206
- Kwok C.K., Desu S.B., Vijay D.P. // Ferroelectrics Lett. 1997. V. 16. P. 143--156
- Krupanidhi S.B. // Integr. Ferroelectrics. 1992. V. 1. P. 161--180
- Sreenivas K., Sayer M. // J. Appl. Phys. 1988. V. 64. P. 1484--1493
- Song Zh., Ren W., Zhang L., Lin Ch. // Thin Solid Films. 1999. V. 353. P. 25--28
- Yamakawa K., Arisumi O., Okuwada K. et al. // Proc. of Eleventh IEEE Intern. Symp. on Applications of Ferroelectrics. Montreux, Switzerland, 1998. P. 159--162
- Афанасьев В.П., Богачев С.В., Зайцева Н.В. и др. // ЖТФ. 1996. Т. 66. N 6. С. 160--169
- Lang S.B. // Ferroelectrics. 1990. V. 106. P. 1105--1111
- Jones R.E. // Solid State Tecnology. Oct. 1997. P. 201--210
- Afanasjev V.P., Petrov A.A., Pronin I.P. et al. // J. Phys.: Condens. Matter, 2001 (in press)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.