Импульсная магнитная обработка кремниевых подложек для осаждения тонких пленок методом пульверизации
Левин М.Н.1, Семенов В.Н.1, Наумов А.В.1
1Воронежский государственный университет
Email: levin@lev.vsu.ru
Поступила в редакцию: 23 октября 2000 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2001 г.
Метод получения тонких пленок сульфидов металлов пульверизацией водных растворов тиокарбамидных комплексов соответствующих металлов на нагретые подложки дополнен предварительной обработкой полупроводниковых подложек импульсным магнитным полем. Дополнительная операция существенно снижает гидрофобность поверхности кремниевых пластин и обеспечивает осаждение качественных однородных пленок с высокой адгезией к подложке.
- Pawlowski L. The Science and Engineering of Thermal Spray Coatings. Chichester UK: Wiley, 1995
- Herman H., Sampath S., McCune R. // MRS Bulletin. 2000. V. 25. N 7. P. 17--25
- Семенов В.Н., Клюев В.Г., Кушнир М.А. и др. // Журн. прикладной спектроскопии. 1993. Т. 59. N 1--2. С. 114--119
- Семенов В.Н., Остапенко О.В., Лукин А.Н. // Неорганические материалы. 2000. Т. 36. N 2. С. 160--163
- Киселев А.В., Лыгин В.И. Инфракрасные спектры поверхностных соединений и адсорбированных веществ. М.: Наука, 1972. 459 с
- Левин М.Н., Зон Б.А. // ЖЭТФ. 1997. Т. 111. В. 4. С. 1373--1397
- Levin M.N., Zon B.A. // Phys. Letters A. 1999. V. 260. P. 386--390
- Семенов В.Н., Наумов А.В. // Конденсированные среды и межфазные границы. 1999. Т. 1. N 2. С. 176--180
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук