Травление материалов локализованным газовым разрядом
Абрамов А.В.1, Абрамова Е.А.1, Суровцев И.С.1
1Воронежский государственный университет
Поступила в редакцию: 3 августа 2000 г.
Выставление онлайн: 20 января 2001 г.
Показана возможность локализации газового разряда между отдельными элементами поверхностей электродов заданной геометрии. Исследованы основные характеристики и определены формы существования локализованного разряда. Используя такого рода разряд во фторсодержащих газах, проведено размерное травление кремния и диоксида кремния без применения масок с разрешением 100 mum.
- Виноградов Г.К., Словецкий Д.И., Федосеев Т.В. // Теплофизика высоких температур. 1984. Т. 22. N 2. С. 225--232
- Врублевский Э.М., Трубин И.С., Холопов А.В. // Микроэлектроника. 1994. Т. 23. N 4. С. 80--85
- Абрамов А.В., Абрамова Е.А., Суровцев И.С. // Математическое моделирование ИТС. Сб. науч. тр. N 1. Воронеж: ВГТА, 2000. С. 268--272
- Райзер Ю.П., Шнейдер М.Н., Яценко Р.А. Высокочастотный емкостной разряд: Физика. Техника эксперимента. М.: Наука, 1995. 320 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук