Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2000, выпуск 24 » Статья стр. 31
<<<>>>
Неразрушающий контроль микроканального (макропористого) кремния с помощью рентгеновской топографии
Астрова Е.В.1, Ременюк А.Д.1, Ткаченко А.Г.1, Шульпина И.Л.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 9 августа 2000 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2000 г.
PDF версия
Показаны возможности методики рентгеновской топографии для получения изображения границы между микроканальным кремнием и подложкой, оценки ее качества, определения грубины каналов и выявления механических напряжений. Метод позволяет, не разрушая образец, контролировать структуру макропористой области с разрешающей способностью <= 5 mum.
  1. Lehmann V., Foll H. // J. Electrochem. Soc. 1990. V. 137. P. 653
  2. Gruning U., Lehmann V., Ottow S. et al. // Thin Solid Films. 1996. V. 276. P. 151
  3. Grunig U., Lehmann V., Engelhardt C.M. // Appl. Phys. Lett. 1995. V. 66. P. 3254
  4. Kleinman P., Linros J., Peterson S. // Materials Science \& Engineering B. 2000. V. 69--70. P. 29
  5. Birner A., Gruning U., Ottow S. et al. Phys. Stat. Solidi A, 165, 111, (1998)
  6. Bush K., John Sajeev // Phys. Rev. Lett. 1999. V. 83(5). P. 967
  7. Gruning U., Lehmann V., Ottow S. et al. // Appl. Phys. Lett. 1996. V. 68. P. 747
  8. Foresi J.S., Villeneuve P.L., Ferrara J. et al. Nature. 1997. V. 390. P. 143
  9. Beetz S.P., Jr., Boerstler R.W., Steinbeck J. et al. // United State Patent N 5. 997. 713 Date Dec. 7, 1999. "Silicon etching process for making microchannel plates"
  10. Astrova E.V., Grekhov I.V., Naschekin A.V. et al. NATO/EC ARW, Spring School Frontiers of Nano-Optpelectronic Systems: Molecular-Scale Engineering and Processes, Abstract FNOE-1, Kyiv 2000
  11. Astrova E.V., Voronkov V.B., Grekhov I.V. et al. // Techn. Phys. Lett. 1999. V. 25. P. 958
  12. Шульпина И.Л. // Кристаллография. 1992. Т. 37. В. 2. С. 451
  13. Bowen D.K., Tanner B.K. "High resolution X-ray diffractometry and topography". London: UK, 1998. 252 p

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme