"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
О повышении чувствительности эллипсометрического метода исследования нанослоев
Романенко А.А.1
1Институт прикладной оптики НАНБ, Могилев
Email: ipo@physics.belpak.mogilev.by
Поступила в редакцию: 26 января 2000 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2000 г.

Показано, что нанесение на высокопреломляющую подложку специально подобранной диэлектрической пленки существенно повышает чувствительность эллипсометрического метода исследования нанослоев. Представлено решение обратной задачи эллипсометрии.
  1. Ulman A. Ultrathin organic films. New York, 1991. P. 547
  2. Аззам P., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 583 c
  3. Семененко А.И., Бобро В.В., Мардежов А.С. // Автометрия. 1998. N 1. С. 56--60
  4. Jiond Y., Zhang S., Shao H. et al. // Appl. Opt. 1995. V. 34. N 1. P. 169--173
  5. Адамсон П.Ф. // Оптика и спектроскопия. 1995. Т. 83. N 1. С. 169--171
  6. Кособукин В.А. // Оптика и спектроскопия. 1985. Т. 59. В. 2. С. 370--376
  7. Рожнов Г.В. // ЖЭТФ. 1993. Т. 103. В. 3. С. 740--757
  8. Аверьянов В.А., Федоров В.А., Ястребов С.Г. // ЖТФ. 1994. Т. 64. В. 1. С. 103--117
  9. Тихонов А.Н., Арсенин В.Я. Методы решения некорректных задач. М.: Наука, 1986. 285 с
  10. Романенко А.А., Сотский А.Б. // ЖТФ. 1998. Т. 68. N 4. С. 88--95

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.