Визуализация области проецированного пробега ионов Ar при облучении GaAs
Бусов В.М.1, Венус Г.Б.1, Гусинский Г.М.1, Ильинская Н.Д.1, Найденов В.О.1, Пастернак А.А.1, Портной Е.Л.1, Трошков С.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 29 сентября 1999 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1999 г.
Приведены результаты экспериментального исследования с помощью растрового электронного микроскопа скола образца GaAs, облученного ионами Ar, ускоренными до энергии 2.1, 4.6 и 8.4 MeV. Визуализация области пробега ионов, полученная в эксперименте, использована для определения проецированного пробега ионов в полупроводнике.
- Ziegler F., Biersack J., Littmark U. The Stopping Powers and Ranges of Ions in Matter. Pergamon, N.Y., 1985. Vol. 1
- Northcliffe L.C., Shilling R.F. // Nucl. Data Tables. A7. N 3--4. 1970
- Lindhard I., Sharff M., Schiott H.E. // Mat. Fys. Medd. Dan. Vid. Selsk. 1963. V. 33. N 14. P. 1--42
- Зобов А.Е., Лемберг И.Х., Пастернак А.А. // Изв. АН СССР. Сер. Физ. 1990. Т. 54. С. 998
- Rzaca-Urban T., Pasternak A.A., Lieder R. et al. // Nucl. Phys. A. (In press)
- Лемберг И.Х., Пастернак А.А. Современные методы гамма-спектроскопии. Л., 1985. С. 3--63
- Lobach Yu.N., Pasternak A.A., Srebrny J. et al. // Acta Phys. Polonica. 1999. B 30. P. 234--243
- Arstila K., Keinonen J., Tikkanen P. // Metals. NIM. B101. 1995. P. 321--326
- Arstila A., Keinonen J., Tikkanen P. // Phys. Rev. 1990. B 41. P. 6117
- Brand W., Kitagawa M. // Phys. Rev. 1982. V. B25. P. 5631
- Lemberg I.K., Pasternak A.A. // Nucl. Instrum. \& Methods. 1977. V. 140. P. 71--80
- Antilla A., Branderburg S., Keinonen I., Bister M. // Nucl. Phys. 1980. V. A334. P. 205--216
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.