"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Инициируемая лазерным воздействием аномальная диффузия кислорода в обогащенном дефектами поверхностном слое кремния
Банишев А.Ф.1, Голубев В.С.1, Кремнев А.Ю.1
1Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН, Шатура, Россия
Поступила в редакцию: 5 июля 1999 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1999 г.

Обнаружен и описан эффект аномально медленной релаксации деформации поверхности кремния после воздействия лазерного импульса. Наблюдаемая деформация поверхности не связана с термодеформациями. Этот эффект интерпретируется "холодной" диффузией кислорода в обогащенном дефектами поверхностном слое.
  1. Вейко В.П., Метев С.М. Лазерные технологии в микроэлектронике, София: Изд-во Болгарской академии наук, 1991. 363 с
  2. Веденов А.А., Гладуш Г.Г. Физические процессы при лазерной обработке материалов. М.: Энергоатомиздат, 1985. 207 с
  3. Bauerle D. Laser Processing and Chemistry. Springer-Verlag, New York, 1996
  4. Карпов С.Ю., Ковальчук Ю.В., Погорельский Ю.В. // Итоги науки и техники. Сер. Физические основы лазерной и пучковой технологии. 1988. Т. 1. С. 5--48
  5. Бойко В.И., Лукьянчук Ю.С., Царев Е.Р. // Труды ИОФАН. 1991. Т. 30. С. 6--83
  6. Lauzera J., Walgraef D., Ghoniem N.M. // Phys. Rev. Lett. 1997. V. 79. N 14. P. 2706--2709
  7. Володин Б.Л., Емельянов В.И., Шлыков Ю.Г. // Квантовая электроника. 1993. Т. 20. С. 57--60
  8. Banishev A.F., Emel'yanov V.I., Novikov M.M. // Laser Physics. 1992. V. 2. N 2. P. 178--190
  9. Вейко В.П., Имас Я.А., Либенсон М.Н. и др. // Изв. АН СССР. Сер. Физ. 1985. Т. 49. С. 1236--1240

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.