"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Легирование слоев кремния из сублимирующего источника эрбия в процессе молекулярно-лучевой эпитаксии
Светлов С.П.1, Чалков В.Ю.1, Шенгуров В.Г.1, Ускова Е.А.1, Максимов Г.А.1, Андреев Б.А.1, Красильник З.Ф.1, Степихова М.В.1, Ellmer H.1
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 6 августа 1999 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1999 г.

Статья посвящена задаче получения светоизлучающих структур на кремнии, легированном примесью редкоземельных элементов (Er). Предложена новая методика легирования кремния эрбием в процессе выращивания слоев методом молекулярно-лучевой эпитаксии.
  • Соболев Н.А. // ФТП. 1995. Т. 29. В. 7. С. 1153--1177
  • Polman A. // J. Appl. Phys. 1997. V. 82. N 1. P. 1--39
  • Rogers I.L., Andry P.S., Varhue W.J. // Appl. Phys. 1995. V. 78. N 2. P. 6241
  • Stimmer J., Rettinger A., Abstreiter G. et al. // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 1996. V. 422. P. 15--20
  • Шенгуров В.Г., Светлов С.П., Павлов Д.А. и др. // Изв. АН. Сер. физическая. 1999. Т. 63. N 2. С. 406--410
  • Ченга Л., Плога Л. Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры. М.: Мир, 1989. 584 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.