"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Диффузия растворителя через поверхность пленки резиста в процессе центрифугирования
Тригуб В.И.1, Болдыревский П.Б.1
1Нижегородский государственный технический университет
Поступила в редакцию: 8 апреля 1999 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1999 г.

Исследовано влияние приповерхностных напряжений, вызванных внешней силой, на процесс диффузии растворителя через поверхность пленки резиста в процессе центрифугирования. Предложенная модель позволила оценить время формирования пленки резиста и толщину защитного покрытия. Полученные теоретические оценки достаточно хорошо согласуются с экспериментальными результатами.
  1. Левич В.Г. Физико-химическая гидродинамика. М.: Физ. мат. ГИС, 1959. 450 с
  2. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Механика. М.: Наука, 1965. 203 с
  3. Тригуб В.И., Гольденберг Г.Л. // Изв. вузов. Материалы электронной техники. 1998. N 4. С. 41--43

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.