Исследовано влияние приповерхностных напряжений, вызванных внешней силой, на процесс диффузии растворителя через поверхность пленки резиста в процессе центрифугирования. Предложенная модель позволила оценить время формирования пленки резиста и толщину защитного покрытия. Полученные теоретические оценки достаточно хорошо согласуются с экспериментальными результатами.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.