Диффузия растворителя через поверхность пленки резиста в процессе центрифугирования
Тригуб В.И.1, Болдыревский П.Б.1
1Нижегородский государственный технический университет
Поступила в редакцию: 8 апреля 1999 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1999 г.
Исследовано влияние приповерхностных напряжений, вызванных внешней силой, на процесс диффузии растворителя через поверхность пленки резиста в процессе центрифугирования. Предложенная модель позволила оценить время формирования пленки резиста и толщину защитного покрытия. Полученные теоретические оценки достаточно хорошо согласуются с экспериментальными результатами.
- Левич В.Г. Физико-химическая гидродинамика. М.: Физ. мат. ГИС, 1959. 450 с
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Механика. М.: Наука, 1965. 203 с
- Тригуб В.И., Гольденберг Г.Л. // Изв. вузов. Материалы электронной техники. 1998. N 4. С. 41--43
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2023 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук