"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Свойства пленок BaxSr1-xTiO3, выращенных методом ВЧ магнетронного распыления на сапфире с подслоем SrTiO3
Гольман Е.К.1, Гольдрин В.И.1, Логинов В.Е.1, Прудан А.М.1, Земцов А.В.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 31 марта 1999 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1999 г.

Приведены результаты экспериментов по нанесению пленок титаната стронция-бария (BST) на подложки сапфира (r-срез) с подслоем титаната стронция (ST). Показано, что использование подслоя ST позволяет добиться слабой температурной зависимости диэлектрических свойств пленок BST в широком интервале температур. При этом параметры пленок соответствуют уровню, необходимому для изготовления на их основе устройств СВЧ микроэлектроники.
  1. Антонов Н.Н., Бузин И.М., Вендик О.Г. и др. Сегнетоэлектрики в технике СВЧ / Под ред. О.Г. Вендика. М.: Сов. радио, 1979
  2. Прудан А.М., Гольман Е.К., Козырев А.Б., Козлов А.А., Логинов В.Е., Земцов А.В. // ФТТ. 1998. Т. 40. N 8. С. 1473
  3. Knauss L.A., Pond J.M., Horwitz J.S. et al. // Appl. Phys. Let. 1 July 1996. 69 (1)
  4. Loginov V.E., Hollmann E.K., Kozyrev A.B., Prudan A.M. // Vacuum. 1998. V. 51. N 2. P. 141

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.