Генерация однородной плазмы в тлеющем разряде с полым анодом и широкоапертурным полым катодом
Гаврилов Н.В.1, Емлин Д.Р.1, Никулин С.П.1
1Институт общей физики РАН, Москва Институт электрофизики УРО РАН, Екатеринбург
Поступила в редакцию: 23 декабря 1998 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1999 г.
Рассмотрены принципы построения электродных систем источников ионных пучков большого сечения на основе тлеющего разряда и предложена система с комбинированным магнитным и электростатическим удержанием быстрых электронов в широкоапертурном полом катоде и генерацией эмитирующей ионы плазмы в анодной полости. Показано, что исследованная система обеспечивает создание плазмы с близким к однородному распределением плотности тока ионной эмиссии при низких давлениях газа и может быть эффективно использована для получения ионных пучков в широком диапазоне энергий.
- Gavrilov N.V., Mesyats G.A., Radkovskii G.V. et al. // Surf. Coat. Technol. 1997. V. 96. N 1. P. 81--88
- Визирь А.Б., Окс Е.М., Щанин П.М., Юшков Г.Ю. // ЖТФ. 1997. Т. 67. В. 6. С. 611--614
- Kaufman H.R., Cuomo J.J., Harper J.M.E. // J. Vac. Sci. Technol. 1982. V. 21. N 3. P. 725--736
- Метель А.С. // ЖТФ. 1984. Т. 54. В. 2. С. 241--247
- Gavrilov N.V., Mesyats G.A., Nikulin S.P. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1996. V. 14. P. 1050--1055
- Nikulin S.P. // Proc of XVII ISDEIV. Berkeley, USA, 1996. V. II. P. 659--661
- Берсенев В.В., Гаврилов Н.В., Радковский Г.В. // Тез. докл. IV Всерос. конф. по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц. Томск, 1996. С. 66--68
- Thornton J.A., Penfold A.S. Cylindrical Magnetron Sputtering. New York: Academic Press, 1978. 113 p
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук