О возможности неразрушающего послойного анализа многослойных структур из сверхтонких пленок с помощью ионов водорода низких энергий
Курнаев В.А.1, Трифонов Н.Н.1, Дроздов М.Н.1, Салащенко Н.Н.1
1Московский инженерно-физический институт
Поступила в редакцию: 14 января 1999 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1999 г.
С помощью анализа энергетических спектров рассеянных ионов водорода экспериментально исследована возможность проведения неразрушающего контроля распределения состава многослойных структур.
- Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности. М.: Мир, 1989. 564 с
- Feurstein A., Grahmann H., Kabitzer S., Oestzman H. // Ion Beam Surface Layer Analysis / Eds. O. Meyer, G. Linker, F. Kappeler (Plenum Press. New York, 1975). P. 471
- Koborov N.N., Kuzovlev A.I., Kurnaev V.A., Remizovich V.S., Trifonov N.N. // Nucl. Instr. and Meth. 1977. B 129. P. 5
- Andreev S.S., Akhsakhalyan A.D., Drozdov M.N., Polushkin N.I., Salashenko N.N. // Thin Solid Films. 1995. V. 263. P. 169
- Дроздов М.Н., Андреев С.С., Мастеров Д.В., Салащенко Н.Н., Шамов Е.А. // Поверхность. 1997. В. 11. С. 57
- Экштайн В. Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твердого тела. М.: Мир, 1995. 321 с
- Курнаев В.А., Машкова Е.С., Молчанов В.А. Рассеяние легких ионов поверхностью твердого тела. М.: Энергоатомиздат, 1985. 192 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук