"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Влияние десорбции на формирование состава тонких пленок высокотемпературных сверхпроводников при магнетронном напылении
Воробьев А.К1, Гапонов С.В.1, Дроздов М.Н.1, Клюенков Е.Б.1, Лучин В.И.1, Мастеров Д.В.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 6 июля 1998 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1998 г.

Приводятся результаты исследований влияния десорбции, обусловленной взаимодействием поверхности конденсации с частицами плазмы, на формирование состава тонких пленок высокотемпературных сверхпроводников Y-Ba-Cu-O при магнетронном напылении. На основе анализа вольт-амперных характеристик зондов Ленгмюра определены значения плавающего потенциала подложки при различных давлениях рабочего газа. Методом электронной Оже-спектроскопии определен элементный состав пленок, полученных при различных напряжениях смещения на подложке. Установлено, что при магнетронном напылении пленок Y-Ba-Cu-O существенное влияние на формирование состава конденсата может оказывать селективная десорбция компонентов с подложки и окружающих элементов конструкции, обусловленная бомбардировкой ионами плазмы, ускоренными в поле плавающего потенциала.
  1. Майссел Л., Глэнг P. Технология тонких пленок. М.: Сов. радио, 1977
  2. Drozdov Y.N., Gaponov S.V., Gusev S.A. et al. // ISEC'97 Extended Abstract Book. 1997. V. 2. P. 49--51
  3. Воробьев А.К., Клюенков Е.В., Таланов В.В. и др. // Письма в ЖТФ. 1993. Т. 19. В. 17. С. 785--798
  4. Drozdov Yu. N., Gaponov S.V., Gusev S.A. et al. // IEEE Trans. on Appl. Supercond. 1997. V. 7. N 2. P. 1642--1645
  5. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1987
  6. Kirchhoff R.H., Peterson E.W., Talbot L. // Ракетная техника и космонавтика. 1971. N 9. С. 30--41
  7. Norio Terada, Hideo Ihara, Masatoshi Jo et al. // Jap. J. Appl. Phys. 1988. V. 27. N 4. P. L639--L642
  8. Чопра К.Л. Электрические явления в тонких пленках. М.: Мир, 1972

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.