Приводятся результаты исследований влияния десорбции, обусловленной взаимодействием поверхности конденсации с частицами плазмы, на формирование состава тонких пленок высокотемпературных сверхпроводников Y-Ba-Cu-O при магнетронном напылении. На основе анализа вольт-амперных характеристик зондов Ленгмюра определены значения плавающего потенциала подложки при различных давлениях рабочего газа. Методом электронной Оже-спектроскопии определен элементный состав пленок, полученных при различных напряжениях смещения на подложке. Установлено, что при магнетронном напылении пленок Y-Ba-Cu-O существенное влияние на формирование состава конденсата может оказывать селективная десорбция компонентов с подложки и окружающих элементов конструкции, обусловленная бомбардировкой ионами плазмы, ускоренными в поле плавающего потенциала.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.