Исследование деструкции молекул силана в импульсном объемном разряде
Шуаибов А.К.1, Шимон Л.Л.1, Дащенко А.И.1, Миня А.И.1
1Ужгородский государственный университет
Поступила в редакцию: 4 июня 1998 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1998 г.
Приводятся результаты исследования электрических и оптических характеристик импульсного поперечного разряда, зажигаемого в объеме 54x2.0x0.7 cm на смеси Ar+4% SiH4. Изучались обзорные спектры излучения плазмы, временные и ресурсные характеристики излучения продуктов деструкции молекул силана. Данный разряд представляет интерес для получения покрытий из пористого кремния на больших площадях.
- Королев Ю.Д., Месяц Г.А., Ярош А.М. // Хим. выс. энерг. 1987. Т. 21. В. 5. С. 464--468
- Стекольников А.Ф., Иванов О.М., Переверзев А.Е. и др. // Физ. низкотемп. плазмы. Ч. 1. Мат. VIII Всес. конф. Минск, 1991. С. 27--28
- Баранов В.Ю., Борисов В.М., Степанов Ю.Ю. // Электроразрядные эксимерные лазеры на галогенидах инертных газов. М.: Энергоатомиздат, 216 с
- Батище С.А., Кузьмук А.А., Малевич Н.А. // Лазерная физика и спектроскопия. Труды III конф. по лаз. физ. и спектроскопии. Минск, 1997. Т. 1. С. 59--62
- Неймет Ю.Ю., Шуаибов А.К., Шевера В.С. и др. // ЖПС. 1990. Т. 53. В. 2. С. 337--339
- Неймет Ю.Ю., Шуаибов А.К., Шевера В.С. // ПТЭ. С. 203
- Шуаибов А.К. // Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24. В. 1. С. 85--90
- Moller T., Beland M., Zimmerer G. // Chem. Phys. Lett. 1987. V. 136. N 6. P. 551--556
- Стриганов А.Р., Одинцова Г.А. // Таблицы спектральных линий атомов и ионов. Справочник. М.: Энергоатомиздат, 1982. 312 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук