Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 1998, выпуск 20 » Статья стр. 12
<<<>>>
К вопросу о генерации радиационных дефектов ускоренными ионами в кремнии
Иванов А.М.1, Строкан Н.Б.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 6 февраля 1998 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1998 г.
PDF версия
Прослежено за введением центров генерации носителей тока в чистом Si в идеологии взаимодействия неравновесных дефектов и носителей тока непосредственно в треке иона. Эксперимент на alpha-частицах с энергией 1.0-5.0 MeV дополнен результатами численного моделирования их торможения в Si. Показано, что первичные дефекты, возникшие в конце трека, образуют меньшее число генерационных центров. Это объясняется захватом компонентами пар Френкеля носителей тока, концентрация которых в треке имеет 3-кратное превышение к концу пробега. Происходящая перезарядка вакансий и межузельных атомов ускоряет и рекомбинацию и снижает число первичных дефектов, участвующих в последующем комплексообразовании.
  1. Еремин В.К., Ильяшенко И.Н., Строкан Н.Б., Шмидт Б. // ФТП. 1995. Т. 29. В. 1. С. 79--89
  2. Schmidt B., Eremin V., Ilyashenko I., Strokan N. // Nucl. Instr. Methods. 1996. A 377. P. 184--190
  3. Verbitskaya E., Eremin V., Strokan N., Kemmer J., Schmidt B., Von Borany J. // Nucl. Instr. Methods. 1994. B. 84. N 1. P. 51--61
  4. Емцев В.В., Машовец Т.В., Михнович В.В. // ФТП. 1992. Т. 26. В. 1. С. 22--44
  5. Ion Implantation. Scince and Technology / Ed. by J.F. Ziegier. Acad. Press, 1984
  6. Иванов А.М., Ильяшенко И.Н., Строкан Н.Б., Шмидт Б. // ФТП. 1995. Т. 29. В. 3. С. 543--551
  7. Берман Л.С., Витовский Н.А., Ломасов В.Н., Ткаченко В.Н. // ФТП. 1992. Т. 24. В. 10. С. 1816--1822
  8. Зи С. Физика полупроводниковых приборов / Пер. с англ. под ред. Р.А. Суриса. М.: Мир, 1984. Т. 1. С. 456
  9. Иванов А.М., Строкан Н.Б., Шуман В.Б. // Письма в ЖТФ. 1997. Т. 23. В. 9. С. 67--72
  10. Иванов А.М., Строкан Н.Б. // ФТП. 1997. Т. 31. В. 6. С. 674--679

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme