Вышедшие номера
Зарядовые свойства слоев оксида алюминия, синтезированных методом молекулярного наслаивания
Сазонов С.Г.1, Зулуев З.Н.1, Дрозд В.Е.1, Никифорова И.О.1
1Научно-исследовательский институт физики С.-Петербургского государственного университета
Поступила в редакцию: 21 января 1998 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1998 г.

Проведено исследование зарядовых и проводящих свойств слоев диэлектрика, полученного методом молекулярного наслаивания, в структурах Si-Al2O3-Al. Не наблюдается захват заряда в диэлектрике при температуре 77 K и прикладывании к структуре обедняющих напряжений.