Зарядовые свойства слоев оксида алюминия, синтезированных методом молекулярного наслаивания
Сазонов С.Г.1, Зулуев З.Н.1, Дрозд В.Е.1, Никифорова И.О.1
1Научно-исследовательский институт физики С.-Петербургского государственного университета
Поступила в редакцию: 21 января 1998 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1998 г.
Проведено исследование зарядовых и проводящих свойств слоев диэлектрика, полученного методом молекулярного наслаивания, в структурах Si-Al2O3-Al. Не наблюдается захват заряда в диэлектрике при температуре 77 K и прикладывании к структуре обедняющих напряжений.
- Aleskovski V.B., Drozd V.E. // Acta Polytech. Scand. 1990. V. 195. P. 155
- Drozd V.E., Baraban A.P., Nikiforova I.O. // Appl. Surf. Sci. 1994. V. 83. P. 583
- Сазонов С.Г., Дрозд В.Е., Зулуев З.Н., Никифорова О.Е. // Материалы международной науч.-техн. конференции "Диэлектрики-97". С.-Петербург, 1997. С. 66--68
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук