Вышедшие номера
Влияние азота на оптические и механические свойства алмазоподобных углеродных пленок
Клюй Н.И.1
1Институт физики полупроводников НАН Украины, Киев
Поступила в редакцию: 3 декабря 1997 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1998 г.

Исследованы оптические и механические свойства алмазоподобных углеродных пленок, полученных методом плазмохимического осаждения, в зависимости от содержания азота в газовой смеси. Немонотонный характер изменения оптической ширины запрещенной зоны и микротвердости пленок интерпретируется в рамках модели, учитывающей влияние азота на их структуру. Показана перспективность использования азотосодержащих алмазоподобных углеродных пленок в качестве защитных и просветляющих покрытий для кремниевых солнечных элементов.