Влияние азота на оптические и механические свойства алмазоподобных углеродных пленок
Клюй Н.И.1
1Институт физики полупроводников НАН Украины, Киев
Поступила в редакцию: 3 декабря 1997 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1998 г.
Исследованы оптические и механические свойства алмазоподобных углеродных пленок, полученных методом плазмохимического осаждения, в зависимости от содержания азота в газовой смеси. Немонотонный характер изменения оптической ширины запрещенной зоны и микротвердости пленок интерпретируется в рамках модели, учитывающей влияние азота на их структуру. Показана перспективность использования азотосодержащих алмазоподобных углеродных пленок в качестве защитных и просветляющих покрытий для кремниевых солнечных элементов.
- Semenovich V.A., Klyui N.I., Kostylyov V.P. et al. // Journal of CVD. 1997. V. 5. N 3. P. 213--219
- Allon-Alaluf M., Appelbaum J., Maharizi M. et al. // Thin Solid Films. 1997. V. 303. N 8. P. 273--276
- Evtukh A.A., Litovchenko V.G., Marchenko R.I. et al. // J. Vac. Sci. Technol. 1996. V. B14. N 3. P. 2130--2134
- Kim S.B., Wager J.F. // Appl. Phys. Lett. 1988. V. 53. N 19. P. 1880--1881
- Piryatinskii Yu.P., Semenovich V.A., Klyui N.I. et al. // Journal of CVD. 1997. V. 5. N 3. P. 207--212
- Mendoza D., Aguilar-Hernandez J., Contreras-Puente G. // Solid State Comm. 1992. V. 84. N 11. P. 1025--1027
- Demichelis F., Rong X.F., Schreiter S. et al. // Diamond and Related Materials. 1995. V. 4. N 4. P. 361--365
- Bubenzer A., Dishler B., Brandt G. et al. // J. Appl. Phys. 1983. V. 54. N 10. P. 4590--4594
- Физика тонких пленок. Т. II / Под ред. Г. Хасса и Р.Э. Туна. М.: Мир, 1967. 396 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук