Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Устойчивые токовые осцилляции при магнетронном распылении оксидных мишеней
Абдуев А.Х.1, Магомедов А.М.1
1Институт физики Дагестанского научного центра Российской академии наук, Махачкала, Россия 
Поступила в редакцию: 27 ноября 1997 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1998 г.
Впервые наблюдались незатухающие полные токовые осцилляции в процессе магнетронного распыления оксидных керамических мишеней при постоянном токе. Показано, что наблюдаемые осцилляции обусловлены непрерывной генерацией атомарного кислорода в результате процессов хемосорбции-десорбции на разогретой ионной бомбардировкой поверхности мишени. Обнаружены осцилляции прилипательной природы (подобные тричелевским) при низких давлениях (P=4x 10-4 Torr).
- Райзер Ю.П. // Физика газового разряда. М.: Наука, 1992. 536 с
- Nighan W.L., Wiegand W.J. // Phys. Rev. A. 1974. V. 10. N 3. P. 922--945
- Morrow R. // Phys. Rev. A. 1985. V. 32. P. 1799
- Peres I., Pitchford L.C. // J. Appl. Phys. 1995. V. 78. N 2. P. 774--783
- Моррисон С. Химическая физика поверхности твердого тела. М.: Мир, 1980. 488 с
- Лисаченко А.А., Моисеенко И.Ф., Глебовский А.А. // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1982. Т. 46. N 12. С. 2274--2278
- Абдуев А.Х., Магомедов А.М., Шахшаев Ш.О. // Неорг. мат. 1997. Т. 33. N 1. С. 1--3
- Мелехин В.Н., Наумов Н.Ю. // ЖТФ. 1984. Т. 54. N 8. С. 1521--1530
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
