"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Устойчивые токовые осцилляции при магнетронном распылении оксидных мишеней
Абдуев А.Х.1, Магомедов А.М.1
1Институт физики Дагестанского научного центра Российской академии наук, Махачкала, Россия
Поступила в редакцию: 27 ноября 1997 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1998 г.

Впервые наблюдались незатухающие полные токовые осцилляции в процессе магнетронного распыления оксидных керамических мишеней при постоянном токе. Показано, что наблюдаемые осцилляции обусловлены непрерывной генерацией атомарного кислорода в результате процессов хемосорбции--десорбции на разогретой ионной бомбардировкой поверхности мишени. Обнаружены осцилляции прилипательной природы (подобные тричелевским) при низких давлениях (P=4x 10-4 Torr).
  • Райзер Ю.П. // Физика газового разряда. М.: Наука, 1992. 536 с
  • Nighan W.L., Wiegand W.J. // Phys. Rev. A. 1974. V. 10. N 3. P. 922--945
  • Morrow R. // Phys. Rev. A. 1985. V. 32. P. 1799
  • Peres I., Pitchford L.C. // J. Appl. Phys. 1995. V. 78. N 2. P. 774--783
  • Моррисон С. Химическая физика поверхности твердого тела. М.: Мир, 1980. 488 с
  • Лисаченко А.А., Моисеенко И.Ф., Глебовский А.А. // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1982. Т. 46. N 12. С. 2274--2278
  • Абдуев А.Х., Магомедов А.М., Шахшаев Ш.О. // Неорг. мат. 1997. Т. 33. N 1. С. 1--3
  • Мелехин В.Н., Наумов Н.Ю. // ЖТФ. 1984. Т. 54. N 8. С. 1521--1530
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.