"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Влияние давления рабочего газа на свойства тонких пленок высокотемпературных сверхпроводников, полученных магнетронным распылением
Воробьев А.К.1, Гапонов С.В.1, Гусев С.А.1, Дроздов Ю.Н.1, Клюенков Е.Б.1, Лучин В.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 18 августа 1997 г.
Выставление онлайн: 20 января 1998 г.

Приводятся результаты исследований поверхностной морфологии, состава, микроструктуры и электрических свойств тонких пленок высокотемпературных сверхпроводников YBa2Cu3O7-x, полученных инвертированным магнетронным распылением, в зависимости от давления рабочей газовой смеси. На основе анализа характеристик зондов Ленгмюра определены основные параметры плазмы магнетронного разряда в области подложки. Изменение свойств пленок рассматривается как результат бомбардировки растущей пленки ионами плазмы, ускоренными в поле плавающего потенциала подложки. При давлении 28 Pa и температуре подложки 630oC получены пленки с температурой конца сверхпроводящего перехода Tc off=89 K и плотностью критического тока jc=2 MA/cm2 (при 77 K), свободные от частиц вторичных фаз с размерами больше 10 nm.
  1. Waffenschmidt E., Waffenschmidt K.H., Arndt F. et al. // J. Appl. Phys. 1994. V. 75 (8). P. 4092--4096
  2. Hudner J., Thomas O., Mossang E. et al. // J. Appl. Phys. 1993. V. 74 (7). P. 4631--4641
  3. Rauch W., Behner H., Gieres G. et al. // Physica C. 1992. V. 198. P. 389--395
  4. Kuhle A., Skov J.L., Hjorth S. et al. // Appl. Phys. Lett. 1994. V. 64 (23). P. 3178--3180
  5. Auge J., Jansen M., Roskos H.G. et al. // Appl. Phys. Lett. 1994. V. 64. (23). P. 3166--3168
  6. Johnson C.N.L., Helmersson U., Madsen L.D. et al. // J. Appl. Phys. 1995. V. 77. (12). P. 6388--6393
  7. Sakuta K., Iyori M., Katayama Y. et al. // Jap. J. Appl. Phys. 1990. V. 29. N 4. P. L611--L613
  8. Воробьев А.К., Клюенков Е.Б., Таланов В.В. и др. // Письма в ЖТФ. 1993. Т. 19. В. 17. С. 12--17
  9. Белов Р.К., Володин Б.А., Воробьев А.К. и др. // ФТТ. 1995. Т. 37. N 3. С. 785--798
  10. Drozdov Yu.N., Gaponov S.V., Gusev S.A. et al. // Supercond. Sci. Technol. 1996. V. 9. P. A166--A169
  11. Xi X.X., Venkatesan T., Li Q. et al. // IEEE Trans. Magn. 1991. V. 27. P. 982--989
  12. Geerk J., Xi X.X., Li H.C. et al. // Intern. J. of Modern Phys. B. 1989. V. 3. N 6. P. 923--932
  13. Drozdov Yu.N., Gaponov S.V., Gusev S.A. et al. // IEEE Trans. Appl. Supercond. 1997. V. 7 (in press.)
  14. Drozdov Yu.N., Gaponov S.V., Gusev S.A. et al. // Presented at ISEC'97. Berlin. Juny 25--28, 1997. Extended Abstract Book. V. 2. P. 49--51
  15. Мамутин B.B. // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 20. В. 15. С. 13--16
  16. Marmorcos I.K., Das Sarma S. // Surface Sci. Lett. 1990. V. 237. P. L411--L416

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.