Адсорбционно-управляемая "канальная" проводимость в окисленном пористом кремнии
Демидович В.М.1, Демидович Г.Б.1, Козлов С.Н.1, Петров А.А.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 2 сентября 1997 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1997 г.
Показано, что адсорбционно-полевые воздействия на структуру кремний-окисленный пористый кремний-металл позволяют создавать "замороженное" состояние с повышенной в сотни и тысячи раз проводимостью. Эффект связан с модуляцией "канальной" проводимости окисленных кремниевых нитей фрактального материала ионным зарядом, мигрирующим по поверхности окисленного слоя.
- Canham L.T. // Appl. Phys. Lett. 1990. V. 57. N 10. P. 1046--1048
- Kanemitsu Y. // Phys. Rep. 1995. V. 263. P. 1--91
- Волькенштейн Ф.Ф. Физико-химия поверхности полупроводников. М.: Наука, 1973. 399 с
- Bomchil G., Halimaoui A. // Appl. Surf. Sci. 1989. V. 41/42. P. 604--613
- Козлов С.Н., Славова М.Л. // Микроэлектроника. 1985. Т. 14. N 6. С. 556--561
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.