Исследование свойств пленок CdO
Баранов А.М.1, Малов Ю.А.1, Терешин С.А.1, Вальднер В.О.1
1Государственный научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С.А. Векшинского
Поступила в редакцию: 14 апреля 1997 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1997 г.
Исследованы пленки CdO, полученные магнетронным распылением кадмиевой мишени в смеси азота с кислородом. Установлено, что данные пленки имеют более низкое удельное сопротивление, чем пленки, получаемые другими методами. Сделан вывод о целесообразности практического использования пленок CdO в качестве прозрачных электродов.
- Hartnagel, Dawar A.L., Jain A.K. et al. // Semiconducting Transparent Thin Films. 1995. P. 358
- Singh S.P., Sharma A.K. // Thin Solid Films. 1982. V. 105 (2). P. 131
- Webb G.B., Williams D.F. // Appl. Phys. Lett. 1981. V. 39. P. 640
- Chu T.L., Chu Shirley S. // J. of Electr. Mater. 1990. V. 19. N 9
- Scavani C., Reddy K.T.R. // J. of Alloys and Compounds. 1994. V. 215. P. 239--243
- Кондрашов В.Е. // Оптика фотокатодов. М.: Наука, 1976. 208 с
- Крегер Ф. // Химия несовершенных кристаллов. М.: Мир, 1969. 660 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук