О возможности понижения температур отжига радиационных дефектов в имплантированном ионами карбиде кремния
Джибути З.В.1, Долидзе Н.Д.1, Нарсия Г.Ш.1, Эристави Г.Л.1
1Тбилисский государственный университет им Ив. Джавахишвили
Поступила в редакцию: 8 апреля 1997 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1997 г.
Показана возможность уменьшения температур послеимплантационного отжига радиационных дефектов в карбиде кремния с помощью импульсной фотонной обработки. При правильном выборе спектрального состава и энергии излучения импульсная фотонная обработка является эффективным для отжига радиационных дефектов за счет селективного поглощения квантов на соответствующих уровнях. Предполагается, что механизм отжига является ионизационным (только термическим механизмом невозможно объяснить отжиг в условиях проведения эксперимента).
- Таиров Ю.М., Цветков В.Ф. // Справочник по электротехническим материалам / Под ред. Ю.В. Корицкого, В.В. Пасынкова, Б.М. Тареева. Л.: Энергоатомиздат, 1988. Т. 3. C. 446--472
- Гусаков В.В., Коварский А.П., Попов В.В., Саморуков Б.Е. // Вопросы радиоэлектроники. Сер. Технология производства и оборудование. 1986. В. 1. С. 45--53
- Болотов В.В., Придачин Н.Б., Смирнов Л.С. // ФТП. 1976. Т. 10. В. 3. С. 566--567
- Двуреченский А.В., Качурин Г.А., Нидаев Е.В., Смирнов Л.С. Импульсный отжиг полупроводниковых материалов. М.: Наука, 1982. 208 с
- Капаев В.В., Копаев Ю.В., Молотков С.Н. // Микроэлектроника. 1983. Т. 12. В. 6. С. 499--511
- Гвердцители И.Г., Герасимов А.Б., Джибути З.В., Пхакадзе М.Г. // Поверхность. 1985. В. 11. С. 132--133
- Итальянцев А.Г., Мордкович В.Н., Темпер Э.М. // ФТП. 1984. Т. 18. В. 5. С. 928--930
- Герасимов А.Б., Джибути З.В., Куправа М.А., Пхакадзе М.Г. // Сообщения АН Грузии. 1992. Т. 145. N 1. C. 67--70
- Джибути З.В., Долидзе Н.Д. // Письма в ЖТФ. 1991. Т. 17. В. 5. С. 41--44
- Gerasimov A.B., Dolidze N.D., Donina R.M., Konovalenko B.M., Ofengeim G.L., Tsertsvadze A.A. // Phys. Stat. Sol. (a). 1982. V. 70. P. 23--28
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук