Вышедшие номера
О применимости формулы Стони для расчета механических напряжений в толстых пленках и покрытиях
Добрынин А.В.1
1Московский институт электронной техники
Поступила в редакцию: 11 февраля 1997 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1997 г.

Получены наиболее точные выражения для определения напряжений в покрытиях, например в нитриде алюминия на молибдене. Эпюра напряжений имеет характерную форму, поэтому всю систему предложено назвать "z-система". Показана ограниченность применимости формулы Стони, завышающей или занижающей истинные значения напряжений.