Высокотемпературная имплантация ионов N+ и Al+ в 6H--SiC при высоких дозах
Янков Р.А.1, Фёльсков М.1, Крайссиг У.1, Куликов Д.В.1, Пецольдт И.1, Скорупа В.1, Трушин Ю.В.1, Харламов В.С.1, Циганков Д.Н.1
1Исследовательский центр Россендорф, Дрезден, Германия Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, С.-Петербург Технический университет Ильменау, Ильменау, Германия
Поступила в редакцию: 5 апреля 1997 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1997 г.
Начато проведение комплекса экспериментальных и теоретических исследований образцов 6H-SiC, имплантированных последовательно ионами N+(65 KeV)+N+(120 KeV)+Al+ (100 KeV)+Al+(160 KeV) при температурах от 200 до 800oC при высоких дозах. Осуществлены измерения профилей распределений азота и углерода методом ERD, а также распределений дефектов структуры методами RBS и каналирования. Сравнение полученных экспериментальных данных и результатов компьютерного моделирования привело к формулировке физической модели процессов релаксации структуры имплантированного SiC, разделяющей весь имплантированный объем на разные по глубине области, отличающиеся различными ведущими механизмами кинетики.
- Ruh R., Zangvil A. // J. Amer. Ceram. Soc. 1982. V. 65. N 4. P. 260--268
- Нурмагомедов Ш.А., Пихтин А.Н., Разбегаев В.Н., Сафаралиев Г.К., Таиров Ю.М., Цветков В.Ф. // Письма в ЖТФ. 1986. Т. 12. В. 17. С. 1043--1045
- Yankov R.A., Natzopoulos N., Fukarek W., Voelskow M., Hera V., Pezoldt J., Skorupa W. // Mat. Res. Sump. Proc. 1997. V. 438. P. 271--276
- Ber B.J., Merkulov A.V., Kharlamov V.S., Trushin Yu.V., Zhurkin .E.E. Tech. Phys. 1996. V. 41. N 3. P. 261--267
- Trushin Yu.V., Ber B.J., Kharlamov V.S., Zhurkin E.E. // J. Nucl. Mater. 1996. V. 233/237. P. 991--995
- Ber B.J., Kharlamov V.S., Trushin Yu.V., Merkulov A.V., Zhurkin E.E. // Proc. 10th Int. Conf. on Ion Beam Modification of Materials. Sept. 1--6, 1996. Albuquerque, New Mexico, USA, Tu29
- Кирсанов В.В., Суворов А.Л., Трушин Ю.В. Процессы радиационного дефектообразования в металлах. М.: Энергоатомиздат, 1985. 272 с
- Trushin Yu.V. Theory of Radiation Processes in Metal Solid Solutions. Nova Science Publishers Inc., New York, USA, 1996. 405 p
- Huang H., Ghotem N. // J. Nucl. Mater. 1994. V. 212/215. P. 148--153.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук