"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Болометрические свойства кремниевых пленочных структур, полученных методом плазмохимического газофазного осаждения
Зеров В.Ю.1, Куликов Ю.В.1, Маляров В.Г.1, Феоктистов Н.А.1, Хребтов И.А.1
1ВНЦ "ГОИ им. С.И. Вавилова", С.-Петербург Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, С.-Петербург
Поступила в редакцию: 20 января 1997 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1997 г.

Сообщается о методике изготовления и результатах исследований неохлаждаемых термочувствительных структур сэндвичного типа на основе аморфных гидрированных пленок кремния. Структуры имеют площадь 10-4 см2, сопротивление =~ 10 кОм и температурный коэффициент сопротивления eqsim 2% K. На частоте 30 Гц при токах eqsim 1 мкА избыточный шум превышает тепловой шум сопротивления в 1.7 раза
  1. Flannery R.E, Miller J.E., // Proc. SPIE. 1992. V. 1689. P. 379--396
  2. Wood R.A. // Proc. SPIE. 1993. V. 2020. P. 322--329
  3. Liddiard K.C. // Proc. SPIE. 1993. V. 1969. P. 206--216
  4. Unewisse M.H., Graig B.I., Watson R.J., Liddiard K.C. // Proc. SPIE. 1995. V. 2554. P. 43--45
  5. Bulter N., Blackwell R., Murphy R. et al. // Proc. SPIE. 1995. V. 2552. P. 583--591
  6. Liddiard K.C., Unewisse M.H., Reinhold O. // Proc. SPIE. 1994. V. 2225. P. 62--71
  7. Андреев А.А., Голикова О.А., Карагеоргий-Алкалаев П.М., Лейдерман А.Ю., Мездрогина М.М., Рубин В.С., Феоктистов Н.А. // ФТП. 1984. Т. 18. В. 2. С. 373--376

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.