Болометрические свойства кремниевых пленочных структур, полученных методом плазмохимического газофазного осаждения
Зеров В.Ю.1, Куликов Ю.В.1, Маляров В.Г.1, Феоктистов Н.А.1, Хребтов И.А.1
1ВНЦ "ГОИ им. С.И. Вавилова", С.-Петербург Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, С.-Петербург
Поступила в редакцию: 20 января 1997 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1997 г.
Сообщается о методике изготовления и результатах исследований неохлаждаемых термочувствительных структур сэндвичного типа на основе аморфных гидрированных пленок кремния. Структуры имеют площадь 10-4 см2, сопротивление =~ 10 кОм и температурный коэффициент сопротивления eqsim 2% K. На частоте 30 Гц при токах eqsim 1 мкА избыточный шум превышает тепловой шум сопротивления в 1.7 раза
- Flannery R.E, Miller J.E., // Proc. SPIE. 1992. V. 1689. P. 379--396
- Wood R.A. // Proc. SPIE. 1993. V. 2020. P. 322--329
- Liddiard K.C. // Proc. SPIE. 1993. V. 1969. P. 206--216
- Unewisse M.H., Graig B.I., Watson R.J., Liddiard K.C. // Proc. SPIE. 1995. V. 2554. P. 43--45
- Bulter N., Blackwell R., Murphy R. et al. // Proc. SPIE. 1995. V. 2552. P. 583--591
- Liddiard K.C., Unewisse M.H., Reinhold O. // Proc. SPIE. 1994. V. 2225. P. 62--71
- Андреев А.А., Голикова О.А., Карагеоргий-Алкалаев П.М., Лейдерман А.Ю., Мездрогина М.М., Рубин В.С., Феоктистов Н.А. // ФТП. 1984. Т. 18. В. 2. С. 373--376
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
