"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Кремниевые металл--диэлектрик--полупроводник-варикапы с диэлектриком из оксида иттербия
Рожков В.А.1, Трусова А.Ю.1
1Самарский государственный университет
Поступила в редакцию: 10 октября 1996 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1997 г.

Исследованы электрофизические свойства кремниевых металл--диэлектрик--полупроводник-варикапов с диэлектриком из оксида иттербия, полученного методом резистивного вакуумного распыления редкоземельного металла с последующим термическим окислением пленки на воздухе при температуре 500-500oC. Установлено, что электропроводность образцов описывается законом Пула--Френкеля. Методом высокочастотных вольт-емкостных характеристик определены удельная емкость диэлектрика C0=0.027-0.03 мкФ/см2, крутизна вольт-емкостной характеристики dC/dV=35-40 пФ/В, фиксированный заряд в диэлектрике Qф=(1.7-2.7)· 10-8 Кл/см2, плотность поверхностных состояний при потенциале плоских зон Nss=(1-2)· 1011 см-2· эВ-1. Установлено, что коэффициент перекрытия емкости в металл--диэлектрик--полупроводник-варикапах составлял 2.5--3. Показана перспективность использования исследованных структур в качестве металл--диэлектрик--полупроводник-варикапов с малыми управляющими напряжениями и высокой добротностью.
  1. Вдовин О.С., Кирьяшкина З.И., Котелков В.Н., Новичков В.В., Рожков В.А. Пленки оксидов редкоземельных элементв в МДМ- и МДП-структурах. Саратов: СГУ, 1983. 159 с
  2. Латухина Н.В., Рожков В.А., Романенко Н.Н. // Микроэлектроника. 1994. Т. 23. N 1. С. 59--64
  3. Rozhkov V.A., Goncharov V.P., Trusova A.Yu. // IEEE 5th International Conference on Conduction and Breakdown in Solid Dielectrics. Leicester. England. 1995. P. 552--555
  4. Аношин Ю.А., Петров А.И., Рожков В.А. и др. // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18. В. 10. С. 54--58
  5. Рожков В.А., Петров А.И. // Письма в ЖТФ. 1985. Т. 11. В. 1. С. 49--52
  6. Рожков В.А., Трусова А.Ю., Бережной И.Г. и др. // ЖТФ. 1995. Т. 65. В. 8. С. 183--186
  7. Рожков В.А., Гончаров В.П., Трусова А.Ю. // Письма в ЖТФ. 1995. Т. 21. В. 2. С. 6--10

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.