Метод контроля формы иглы атомно-силового (туннельного) микроскопа с помощью спектрометрии обратного рассеяния
Дедков Г.В.1, Рехвиашвили С.Ш.1
1Кабардино-Балкарский государственный университет, Нальчик
Поступила в редакцию: 24 сентября 1996 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1997 г.
Предложен метод контроля формы иглы атомно-силового микроскопа, который позволяет совместить операции ионного травления и контроля формы, осуществляя последний по интенсивности обратного рассеяния ионов этого же или другого пучка. Получены зависимости, использование которых обеспечивает возможность контроля формы иглы по измеренной зависимости интенсивности обратного рассеяния от параметров падающего пучка.
- Эдельман В.С. // Приборы и техника эксперимента. 1991. N 1. С. 24--35
- Sarid D. // Scanning Force Microscopy with Applications to Electric, Magnetic and Atomic Forces. Oxford U. Press, New York. 1991
- Vasile M.J. et al. // Rev. Sci. Instrum. 1991. V. 62. P. 2167--2171
- Hopkins L.C. et al. // J. vac. Sci. \& Technology. В. 1995. V. 13. P. 335--337
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук