Волноводные свойства оптических структур, полученных окислением пористого кремния
Томов А.В.1, Филиппов В.В.1, Бондаренко В.П.1
1Институт прикладной оптики АН Беларуси, Могилев Институт физики АН Беларуси, Минск
Поступила в редакцию: 28 января 1997 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1997 г.
В работе описаны результаты исследования оптических свойств канальных волноводов, полученных окислением пористого кремния. Произведена оценка параметров волноводов, установлено существование оптической анизотропии. Измерена величина эффективного показателя преломления основной квази-ТМ моды волновода. Полученные результаты говорят о существовании буферного слоя между волноводом и кремниевой положкой. Высказано предположение о наличии в его пределах второго максимума показателя преломления.
- Iyer S.S., Collins R.T., Collins L.T. Light Emission from Silicon. MRS Symp. Proc. Boston, 1992. P. 256--257
- Zheng J.P., Jiao K.L., Shen W.P., W.A. Anderson, H.S. Kwok. // Appl. Phys. Lett. 1992. V. 61. N 4. P. 459--461
- Bondarenko V.P., Dorofeev A.М. Kozuchic N.M. // Microel. Eng. 1995. V. 28. P. 447--450
- Danko S.J., Ryan-Howard D.P. // Appl. Opt. 1986. V. 25. N 8. P. 1505--1509
- Унгер X.-Г. Планарные и волоконные оптические волноводы. М.: Мир, 1980. 654 с
- Физико-химические свойства окислов. Справочник / Ред. Г.В. Самсонов. М.: Металлургия, 1978. 471 с
- Ланда Л.М., Николаева И.Н. // ДАН СССР. 1979. Т. 244. N 6. С. 1407--1410
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук