Вышедшие номера
Волноводные свойства оптических структур, полученных окислением пористого кремния
Томов А.В.1, Филиппов В.В.1, Бондаренко В.П.1
1Институт прикладной оптики АН Беларуси, Могилев Институт физики АН Беларуси, Минск
Поступила в редакцию: 28 января 1997 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1997 г.

В работе описаны результаты исследования оптических свойств канальных волноводов, полученных окислением пористого кремния. Произведена оценка параметров волноводов, установлено существование оптической анизотропии. Измерена величина эффективного показателя преломления основной квази-ТМ моды волновода. Полученные результаты говорят о существовании буферного слоя между волноводом и кремниевой положкой. Высказано предположение о наличии в его пределах второго максимума показателя преломления.