"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Самосогласованная модель высокочастотного емкостного разряда низкого давления
Смирнов А.С.1, Орлов К.Е.1
1С.-Петербургский государственный технический университет
Поступила в редакцию: 5 ноября 1996 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1996 г.

Сформулирована простая самосогласованная модель высокочастотного емкостного разряда низкого давления. Учтены эффекты, связанные со стохастическим нагревом электронов и нелокальностью электрического поля. Полученные соотношения позволяют качественно рассмотреть основные особенности таких разрядов низкого давления. Результаты численного расчета находятся в хорошем согласии с имеющимися экспериментальными данными.
  1. Анспрук Н., Браун Д. Плазменная технология в производстве СБИС. М.: Мир, 1987
  2. Kaganovic I.D., Tsendin L.D. // IEEE trans. Plasma Sci. 1992. V. 20. N 7. P. 86--92
  3. Дулькин А.Е., Мошкалев С.А., Смирнов А.С. и др. // ЖТФ. 1993. Т. 63. N 7. С. 64--73
  4. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1992. 527 с
  5. Голант В.Е., Жилинский А.П., Сахаров С.А. Основы физики плазмы. М.: Атомиздат, 1997. 383 с
  6. Godyak V.A., Piejak R.B. // Phys. Rev. Lett. 1990. V. 65. N 8. C. 996-999
  7. Смирнов А.С., Уставчиков А.Ю., Фролов К.С. // ПТЭ. 1994. N 3. С. 129--132

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.