Самосогласованная модель высокочастотного емкостного разряда низкого давления
Смирнов А.С.1, Орлов К.Е.1
1С.-Петербургский государственный технический университет
Поступила в редакцию: 5 ноября 1996 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1996 г.
Сформулирована простая самосогласованная модель высокочастотного емкостного разряда низкого давления. Учтены эффекты, связанные со стохастическим нагревом электронов и нелокальностью электрического поля. Полученные соотношения позволяют качественно рассмотреть основные особенности таких разрядов низкого давления. Результаты численного расчета находятся в хорошем согласии с имеющимися экспериментальными данными.
- Анспрук Н., Браун Д. Плазменная технология в производстве СБИС. М.: Мир, 1987
- Kaganovic I.D., Tsendin L.D. // IEEE trans. Plasma Sci. 1992. V. 20. N 7. P. 86--92
- Дулькин А.Е., Мошкалев С.А., Смирнов А.С. и др. // ЖТФ. 1993. Т. 63. N 7. С. 64--73
- Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1992. 527 с
- Голант В.Е., Жилинский А.П., Сахаров С.А. Основы физики плазмы. М.: Атомиздат, 1997. 383 с
- Godyak V.A., Piejak R.B. // Phys. Rev. Lett. 1990. V. 65. N 8. C. 996-999
- Смирнов А.С., Уставчиков А.Ю., Фролов К.С. // ПТЭ. 1994. N 3. С. 129--132
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук