Вышедшие номера
Измерение количества свободного и связанного водорода в аморфном углероде
Коньков О.И.1, Капитонов И.Н.1, Трапезникова И.Н.1, Теруков Е.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 октября 1996 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1996 г.

Проведено исследование эффузии водорода и других газов из пленки аморфного углерода a-C:H при ее отжиге в диапазоне температур 100-1000oC. Прямым методом определено количество водорода в материале на уровне 26 ат.%. Определено количество свободного водорода в исследованном материале на уровне 4 ат.%. Температурная кривая газовыделения свободного водорода имеет максимум при температуре 400oC. Обнаружен широкий пик эффузии водорода при температуре более 400oC. Определено количество выделившегося водорода при разрыве слабых C-H связей на уровне 10 ат.% и разрыве сильных C-H cвязей - на уровне 12 ат.%.