Измерение количества свободного и связанного водорода в аморфном углероде
Коньков О.И.1, Капитонов И.Н.1, Трапезникова И.Н.1, Теруков Е.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 октября 1996 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1996 г.
Проведено исследование эффузии водорода и других газов из пленки аморфного углерода a-C:H при ее отжиге в диапазоне температур 100-1000oC. Прямым методом определено количество водорода в материале на уровне 26 ат.%. Определено количество свободного водорода в исследованном материале на уровне 4 ат.%. Температурная кривая газовыделения свободного водорода имеет максимум при температуре 400oC. Обнаружен широкий пик эффузии водорода при температуре более 400oC. Определено количество выделившегося водорода при разрыве слабых C-H связей на уровне 10 ат.% и разрыве сильных C-H cвязей - на уровне 12 ат.%.
- Discher B., Burenzer A., Koidl P. // Sol. State Commun. 1983. V. 48. P. 105
- Grill A., Patel V. // Appl. Phys. Lett. 1992. V. 60. N 17. P. 2089
- Ataev J., Konkov O.I., Terukov E.I., Vassilev V.A., Volkov A.S. // Phys. Status Solidi A. 1990. V. 120. P. 519
- Trapeznikova I.N., Konkov O.I., Terukov E.I., Yastrebov S.G. // Phys. Solid State. 1994. V. 36. N 9. P. 1519
- Robertson J. // Prog. Solid State Chem. 1992. V. 21. P. 199
- Beyer W., Wagner H. // J. Appl. Phys. 1982. V. 53. P. 8745
- Logothetidic S., Kiriakidis G., Palowra E.C. // J. Appl. Phys. 1991. V. 70. P. 2791
- Logothetidic S., Petalas G., Ves S. // J. Appl. Phys. 1996. V. 79. P. 1040
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.