Монокристаллические алмазные зонды для атомно-силовой микроскопии
Туякова Ф.Т.1, Образцова Е.А.1, Клинов Д.В.1, Исмагилов Р.Р.1
1Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики Институт биоорганической химии им. академиков М.М. Шемякина и Ю.А. Овчинникова РАН, Москва Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, Москва Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова
Email: e.a.obraztsova@gmail.com
Поступила в редакцию: 23 декабря 2013 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2014 г.
Представлены результаты по созданию и тестированию прочных, химически инертных и высокоострых монокристаллических алмазных зондов для атомно-силовой микроскопии. Зонды изготавливались на основе алмазных пирамидальных монокристаллов, полученных с помощью селективного окисления поликристаллических пленок, выращенных методом газофазного осаждения. Разработана методика закрепления одиночных игл на балках кремниевых зондов. С помощью просвечивающего электронного микроскопа установлено, что угол при вершине алмазных пирамидальных кристаллитов составляет порядка 10o, радиус закругления вершины алмазного кристаллита - 2-10 nm. На примере двух тестовых образцов (поверхности графита и молекул ДНК) показано, что изготовленные алмазные зонды могут эффективно использоваться в атомно-силовой микроскопии и позволяют улучшить качество изображений по сравнению со стандартными кремниевыми зондами.
- Handbook of Micro/Nanotribology / Под ред. B. Bhushan. 2 ed. CRC Press, 1999. 880 p
- Xie X.N., Chung H.J., Sow C.H., Wee A.T.S. // Materials Science and Engineering. R: Reorts. 2006. V. 54. N 1--2. P. 1--48
- Копылов П.Г., Образцов А.Н., Швец П.В. // Кристаллография. 2010. Т. 55. В. 4. С. 757--762
- Kim K.-H., Moldovan N., Ke Ch., Espinosa H.D., Xiao X., Carlisle J.A., Auciello O. // Small. 2005. V. 1. N 8--9. P. 866--874
- Mesa B., Magonov S. // J. Physics: Conference Series. 2007. V. 61. P. 770--774
- Diamond CD-AFM Probe Data Sheet / Adama Innovations Ltd., 2010
- Zolotukhin A.A., Ismagilov R.R., Dolganov M.A., Obraztsov A.N. // J. Nanoelectronics and Optoelectronics. 2012. V. 7. N 1. P. 22--28
- Obraztsov A.N., Kopylov P.G., Chuvilin A.L., Savenko N.V. // Diamond \& Related Materials. 2009. V. 18. N 10. P. 1289--1293
- Копылов П.Г., Логинов Б.А., Исмагилов Р.Р., Образцов А.Н. // Приборы и техника эксперимента. 2010. Т. 3. С. 1--7
- Ширяева С.О., Григорьев А.И. // ЖТФ. 1994. Т. 64. В. 3. С. 13--25
- Klinov D.V., Neretina T.V., Prokhorov V.V., Dobrynina T.V., Aldarov K.G., Demin V.V. // Biochemistry (Moscow). 2009. V. 74. N 10. P. 1150--1154
- Klinov D.V., Dwir B., Kapon E., Borovok N., Molotsky T., Kotlyar A. // Nanotechnology. 2007. V. 18. N 22. P. 225 102
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук