Вышедшие номера
Эволюция морфологии поверхности при росте пленок поликристаллического кремния с полусферическими зернами
Новак А.В.1,2, Новак В.Р.1,2
1Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
2Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина, Москва, Зеленоград, Россия
Email: novak-andrei@mail.ru
Поступила в редакцию: 27 декабря 2013 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2014 г.

Изучена эволюция морфологии поверхности при росте пленок поликристаллического кремния с полусферическими зернами (пленки HSG-Si) на основе использования скейлингового анализа изображений поверхности, полученных посредством атомно-силовой микроскопии. Из корреляционных функций высота-высота найдено, что показатель шероховатости alpha=0.92± 0.03 и не зависит от толщины пленки. Получены зависимости ширины интерфейса w(t), корреляционной длины xi(t) и длины волны lambda(t) от времени осаждения t и найдены скейлинговые коэффициенты beta, 1/z, p.