Кристаллизация монокристаллических слоев карбида кремния на кремнии при температуре 1050-1250oC
Баранов И.М., Белов Н.А., Дмитриев В.А., Иванова Н.Г., Кондратьева Т.С., Никитина И.П., Челноков В.Е., Шаталов В.Ф., Эрлих Р.Н.
Выставление онлайн: 20 мая 1989 г.