Вышедшие номера
Исследование процесса формирования углеродной наноразмерной автоэмиссионной структуры с ионной защитой
Абаньшин Н.П.1,2,3, Горфинкель Б.И.1,2,3, Морев С.П.1,2,3, Мосияш Д.С.1,2,3, Якунин А.Н.1,2,3
1OOO "Волга-Свет", Саратов
2НПП "Торий", Москва
3Институт проблем точной механики и управления РАН, Саратов, Россия
Email: anyakunin@mail.ru
Поступила в редакцию: 9 января 2014 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2014 г.

Приведены результаты теоретического и экспериментального исследования критичности технологического процесса формирования наноразмерных лезвий из alpha-углерода планарных автоэмиссионных структур с ионной защитой. Показано, что разработанная технология обеспечивает надежность управления процессом. Обнаружена слабая зависимость уровня напряженности в области острия эмиттера структуры от длины "козырька" лезвия, что способствует хорошей воспроизводимости ее параметров.