Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Формирование углеродных субнаноразмерных масковых покрытий на кремнии (100) в СВЧ-плазме низкого давления
Яфаров Р.К.1, Шаныгин В.Я.1
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия 
Email: pirpc@yandex.ru
Поступила в редакцию: 1 ноября 2013 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2014 г.
С использованием методов сканирующих атомно-силовой и электронной микроскопии обнаружено явление самоорганизации наноразмерных доменов при осаждении субмонослойных углеродных покрытий на кремнии (100) в СВЧ-плазме низкого давления. Показано, что полученные наноразмерные углеродосодержащие домены могут быть использованы в качестве масковых покрытий для получения с использованием высокоанизотропного плазмохимического травления пространственных низкоразмерных систем на монокристаллическом кремнии (100).
- Шаныгин В.Я., Яфаров Р.К. // ЖТФ. 2012. Т. 82. В. 8. С. 76
- Леденцов Н.Н., Устинов В.М., Щукин В.А., Копьев П.С., Алфёров Ж.И., Бимберг Д. // ФТП. 1998. Т. 32. В. 4. С. 385
- Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н. Кремний --- материал наноэлектроники. М.: Техносфера, 2007. 352 с
- Яфаров Р.К. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий. М.: Физматлит, 2009. 216 c
- Шаныгин В.Я., Яфаров Р.К. // ЖТФ. 2013. Т. 83. В. 4. С. 92
- Оура К., Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. Введение в физику поверхности. М.: Наука, 2006. 490 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
