"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Изменение структуры пленок аморфного гидрогенизированного кремния и концентрации водорода в них при фемтосекундной лазерной кристаллизации
Емельянов А.В.1,2,3,4, Казанский А.Г.1,2,3,4, Кашкаров П.К.1,2,3,4, Коньков О.И.1,2,3,4, Кутузов Н.П.1,2,3,4, Лясковский В.Л.1,2,3,4, Форш П.А.1,2,3,4, Хенкин М.В.1,2,3,4
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
4Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва, Россия
Email: av.emelyanov@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 3 октября 2013 г.
Выставление онлайн: 20 января 2014 г.

Исследованы спектры рамановского рассеяния пленок аморфного гидрогенизированного кремния, подвергнутых фемтосекундному лазерному облучению. Плотность энергии лазерных импульсов именялась от 30 до 155 mJ/cm2. Впервые получено распределение объемной доли кристаллической фазы по поверхности исследованных пленок и установлена корреляция между изменением объемной доли кристаллической фазы и изменением концентрации водорода в пленках аморфного гидрогенизированного кремния при их кристаллизации фемтосекундным лазерным излучением.
  1. Guha S., Yang J., Williaamson D.L. et al. // Appl. Phys. Lett. 1999. V. 74. P. 1860--1862
  2. Ahn J.Y., Jun K.H., Lim K.S., Konagai M. // Appl. Phys. Lett. 2003. V. 82. P. 1718--1720
  3. Казанский А.Г., Теруков Е.И., Фoрш П.А., Kleider J.P. // ФТП. 2010. Т. 44. С. 513--516
  4. Казанский А.Г., Мелл Х., Теруков Е.И., Форш П.А. // ФТП. 2002. Т. 36. С. 41--44
  5. Wronski C.R., Collins R.W. // Solar Energy. 2004. V. 77. P. 877--885
  6. Adikaari A.A.D.T., Mudugamuwa N.K., Silva S.R.P. // Sol. Energy Mater. Sol. Cells. 2008. V. 92. P. 634--638
  7. Хенкин М.В., Емельянов А.В., Казанский А.Г. и др. // ФТП. 2013. Т. 47. В. 9. С. 1283--1287
  8. Adikaari A.A.D.T., Silva S.R.P. // J. Appl. Phys. 2005. V. 97. P. 114 305 (1--7)
  9. Chen S., Hsieh I.C. // Sol. St. Technol. 1996. V. 1. P. 113
  10. Sundaram S.K., Mazur E. // Nature Materials. 2002. V. 1. P. 217--224
  11. Saeta P., Wang J.-K., Siegal Y. et al. // Phys. Rev. Let. 1991. V. 67. P. 1023--1026
  12. Emelyanov A.V., Kazanskii A.G., Khenkin M.V. et al. // Appl. Phys. Lett. 2012. V. 101. P. 081 902 (1--3)
  13. Емельянов А.В., Константинова Е.А., Форш П.А. и др. // Письма в ЖЭТФ. 2013. Т. 97. В. 8. С. 536--540
  14. Емельянов А.В., Казанский А.Г., Кашкаров П.К. и др. // ФТП. 2012. Т. 46. С. 769--774
  15. Brodsky M.H., Cardona M., Cuomo J.J. // Phys. Rev. B. 1977. V. 16. P. 3556--3571
  16. Gontag F., Vonde J.C., Filonovich S. et al. // Thin Solid Films. 2013. V. 536. P. 147--151

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.