Вышедшие номера
Особенности роста пленок в тлеющем разряде с убегающими электронами
Зинченко С.П.1,2, Ковтун А.П.1,2, Толмачев Г.Н.1,2
1Федеральный исследовательский центр Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
2Южный федеральный университет, Ростов-на-Дону
Email: tres-3@mail.ru
Поступила в редакцию: 16 июля 2013 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2013 г.

При напылении пленок в газовом разряде с пучком убегающих электронов впервые обнаружено аномальное поведение интенсивности отраженного от пленки на подложке зондирующего оптического излучения после выключения разряда. Интерпретация этого явления дается в рамках двухслойной модели роста пленки на подложке: в ходе напыления на поверхности пленки образуется оптически однородный поверхностный слой неизвестной природы, который полностью распадается после выключения разряда.