Особенности роста пленок в тлеющем разряде с убегающими электронами
Зинченко С.П.1,2, Ковтун А.П.1,2, Толмачев Г.Н.1,2
1Федеральный исследовательский центр Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
2Южный федеральный университет, Ростов-на-Дону
Email: tres-3@mail.ru
Поступила в редакцию: 16 июля 2013 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2013 г.
При напылении пленок в газовом разряде с пучком убегающих электронов впервые обнаружено аномальное поведение интенсивности отраженного от пленки на подложке зондирующего оптического излучения после выключения разряда. Интерпретация этого явления дается в рамках двухслойной модели роста пленки на подложке: в ходе напыления на поверхности пленки образуется оптически однородный поверхностный слой неизвестной природы, который полностью распадается после выключения разряда.
- Мухортов В.М., Головко Ю.И., Маматов А.А., Толмачев Г.Н., Бирюков С.В., Масычев С.И. // Труды Южного научного центра РАН. Ростов-на-Дону: ЮНЦ РАН, 2007. Т. 2. С. 224
- Бакаев А.А. Исследование эффективности формирования убегающих электронов в различных типах поперечных разрядов: Автореф. дис.... канд. физ.-мат. наук. Ростов-на-Дону, 2003. С. 21
- Еловиков С.С. // СОЖ. 1999. N 10. С. 100--107
- Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности. М.: Мир, 1989. 568 с
- Лущик Ч.Б., Лущик А.Ч. Распад электронных возбуждений с образованием дефектов в твердых телах. М.: Наука, 1989. 263 с
- Зинченко С.П., Ковтун А.П., Толмачев Г.Н. // Письма в ЖТФ. 2010. Т. 36. В. 10. С. 66--72
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Электродинамика сплошных сред. М.: Наука, 1982. 620 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.