Исследование процессов формирования слоев нитрида титана при низкоэнергетической имплантации ионов азота в титан
Игнатьев А.С.1, Петрова А.Г.1, Рябов Ю.Э.1
1Институт радиотехники и электроники РАН, Москва
Поступила в редакцию: 1 апреля 1992 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1992 г.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
