Вышедшие номера
Сканирующая калориметрия плазмохимического травления полимера в ВЧ разряде
Магунов А.Н.1
1Институт микроэлектроники РАН, Ярославль
Поступила в редакцию: 30 января 1992 г.
Выставление онлайн: 20 января 1992 г.