Низкотемпературное осаждение углеродных пленок различного фазового состава в плазме газового СВЧ-разряда с ЭЦР
Былинкина Н.Н.1, Муштакова С.П.1, Суздальцев С.Ю.1, Яфаров Р.К.1
1Институт радиотехники и электроники РАН Саратовский филиал
Поступила в редакцию: 29 мая 1996 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1996 г.
- Былинкина Н.Н., Муштакова С.П., Олейник В.А. и др. Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. В. 6. С. 43--47
- Powder Diffraction. Data Cards. Inorganic Section ICPDS Swarthnore Pennsylvania, USA. 1987
- Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка материалов. М.: Радио и связь, 1988. С. 232
- Уббелоде А.Р., Льюис Ф.А. Графит и его кристаллические соединения. М.: Мир, 1965. С. 185
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.