Воздействие СВЧ-плазмы с электронно-циклотронным резонансом на электрофизические свойства алмазоподобных углеродных пленок
Былинкина Н.Н., Муштакова С.П., Олейник В.А., Скрипаль А.В., Усанов Д.А., Ушаков Н.М., Яфаров Р.К.
Поступила в редакцию: 10 октября 1995 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 1996 г.
- Яфаров Р.К. Электронная промышленность. 1992. N 1. С. 8--11
- Карамышев В.П., Лаврищев В.П., Мурылева И.В., Панасенко П.В. Микроэлектроника. 1989. Т. 18. Вып. 1. С. 9--14
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.