Энергетическое и временное распределение заряженных частиц, бомбардирующих электрод в высокочастотном разряде
Смирнов А.С.1, Уставщиков А.Ю.1, Фролов К.С.1
1Санкт-Петербургский государственный технический университет
Поступила в редакцию: 24 апреля 1995 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1995 г.
- Bohm C., Perrin J. Rev. Sci. Instrum. 1993. V. 64. P. 31--44
- Koenig H.R., Maissel L.I. IBM J. Res. 1970. V. 14. P. 168--174
- Смирнов А.С., Уставщиков А.Ю., Фролов К.С. Материалы конференции "Физика и техника плазмы". Минск, 1994. Т. 2. С. 120--124
- Smirnov A.S., Tsendin L.D. IEEE Trans. on Plasma Science. 1991. V. 19. P. 130--140
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.