"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Скорости напыления пленок нитрида титана в магнетронных установках реактивного распыления
Владимиров В.В.1, Панченко О.А.1
1Институт физики Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 14 января 1995 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1995 г.

  • Westwood W.D. Physics of Thin Films / Ed. by M.H. Francombe, J.L. Vossen. Academic,Boston, 1989. P. 1--79
  • Larsson T., Blom H.O., Nender C., Berg S. J. Vac. Sci. Technol. 1988. V. A6(3). P. 1832--1836
  • Владимиров В.В., Горшков В.Н., Мотрич В.А. и др. ЖТФ. 1994. Т. 64. В. 5. С. 91--102
  • Плешивцев Н.В. Катодное распыление. М.: Атомиздат, 1968. 343 с
  • Черепин В.Т., Васильев Н.А. Справочник. Методы и приборы для анализа поверхности материалов: Киев: Наук. думка, 1982. 399 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.