Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Скорости напыления пленок нитрида титана в магнетронных установках реактивного распыления
1Институт физики Национальной академии наук Украины, Киев, Украина 
Поступила в редакцию: 14 января 1995 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1995 г.
- Westwood W.D. Physics of Thin Films / Ed. by M.H. Francombe, J.L. Vossen. Academic,Boston, 1989. P. 1--79
- Larsson T., Blom H.O., Nender C., Berg S. J. Vac. Sci. Technol. 1988. V. A6(3). P. 1832--1836
- Владимиров В.В., Горшков В.Н., Мотрич В.А. и др. ЖТФ. 1994. Т. 64. В. 5. С. 91--102
- Плешивцев Н.В. Катодное распыление. М.: Атомиздат, 1968. 343 с
- Черепин В.Т., Васильев Н.А. Справочник. Методы и приборы для анализа поверхности материалов: Киев: Наук. думка, 1982. 399 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
