Термическая нитридизация Si(110) в атмосфере аммиака
Саранин А.А.1, Тарасова О.Л.1, Котляр В.Г.1, Храмцова Е.А.1, Лифшиц В.Г.1
1Институт автоматики и процессов управления ДВНЦ РАН Владивосток
Поступила в редакцию: 11 октября 1994 г.
Выставление онлайн: 20 января 1995 г.
- Maillot C., Roulet H., Dufour G. J. Vac. Sci. Technol. 1984. B. 2. P. 316
- Nishijima M., Edamoto K., Kubota Y., Kobayashi H., Onchi M. Surf. Sci. 1985. V. 158. P. 422
- Carbone C., Nogami J., Lindau I. J. Vac. Sci. Technol. 1985. A 3. P. 972
- Edamoto K., Tanaka S., Onchi M., Nishijima M. Surf. Sci. 1986. V. 167. P. 285
- Nishijima M., Kobayashi H., Edamoto K., Onchi M. Surf. Sci. 1984. V. 137. P. 473
- Kubler L., Hlil E.K., Bolmont D., Gewinner G. Surf. Sci. 1987. V. 183. P. 503
- Koehler B.G., Coon P.A., George S.M. J. Vac. Sci. Technol. 1989. B. 7. P. 1303
- Kubler L., Bischoff J.L., Bolmont D. Phys. Rev. 1988. B. 38. P. 13113
- Bischoff J.L., Kubler L., Bolmont D. Surf. Sci. 1989. V. 209. P. 115
- Glachant A.,Saidi D., Delord J.F. Surf. Sci. 1986. V. 168. P. 672
- Rangelov G., Stober J., Eisenhut B., Fauster Th. Phys. Rev. 1991. B. 44. P. 1954
- Cherif S.M., Lacharme J.-P., Sebenne C.A. Surf. Sci. 1991. V. 243. P. 113
- Schrott A.G., Fain S.C.Jr. Surf. Sci. 111 (1981) 39. V. 111. P. 39
- Bu Y., Chu J.C.S., Lin M.C. Surf. Sci. 1992. V. 264. L 151
- Glachant A., Saidi D. J. Vac. Sci. Technol. B 3 (1985) 985 B. 3. P. 985
- Ichinokawa T., Ampo H., Miura S., Tamura A. Phys. Rev. 1985. B. 31. P. 5183
- Yamamoto Y., Ino S., Ichikawa T. J. Appl. Phys. 1986. V. 25. L 331
- Ampo H., Miura S., Kato K., Ohkawa Y., Tamura A. Phys. Rev. 1986. B. 34. P. 2329
- Nesterenko B.A. Surf. Sci. 1988. V. 33--34. P. 21
- Tanuma S., Powell C.J., Penn D.R. Surf. Interface Anal. 1991. V. 17. P. 927
- Khramtsova E.A., Saranin A.A., Lifshits V.G. Surf. Sci. 1993. V. 280. L 259
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук